台積電移轉Fab2及Fab3的互補金氧半導體（CMOS）產能生產微機電（MEMS）速度已加快，在獲得噴墨頭廠Silverbrook、加速度器廠MEMSIC等訂單後，來自亞德諾（ADI）的加速度感測器（Accelerometer）及MEMS麥克風訂單也已到位。台積電除了積極將8吋廠的部份製程與產能，升級為MEMS製程產能外，年底月投片量將逾4,000片。
第四季半導體市場進入淡季，近來有關台積電產能利用率將大幅滑落至80％以下的傳言不斷，台積電雖不對市場傳言有任何評論，但已開始利用此一淡季時間，將8吋廠的產能進行升級。
據台積電日前公佈計劃，將投入1.074億美元資金，將部分0.18微米邏輯製程升級為0.11微米CMOS感測器製程，增加0.13微米高壓製程及0.18微米的射頻（RF）製程，並會把部份0.35微米邏輯製程產能升級為MEMS製程。
根據設備商透露，蘋果iPhone及任天堂Wii等消費性電子產品，將MEMS技術及元件導入後，雖打開了MEMS的龐大潛在市場，但也導致MEMS供應商大增、價格快速走跌等結果，如加速度感測器目前報價就較去年同期跌了30％。
對MEMS供應商來說，將生產線由6吋廠轉向8吋廠後，單位成本可以大幅降低33％以上，所以包括意法、飛思卡爾等MEMS大廠，已開始將6吋廠改建為8吋廠，不想改建晶圓廠的業者如亞德諾，則選擇與台積電等晶圓代工廠合作。
據了解，台積電的MEMS客戶中，包括了加速度器大廠MEMSIC、小型顯影元件Miradia、噴墨頭廠Silverbrook等，第四季將為亞德諾代工加速度感測器及MEMS麥克風等MEMS元件。雖然台積電手中的MEMS訂單仍不多，但新單到位後，年底月投片量將逾4,000片，經濟規模及成本效益已經慢慢見到成效。
台積電透過雙重曝影（double patterning）方式，將浸潤式（immersion）微影技術應用延伸至32及28奈米，但接下來的22奈米世代的微影技術，除了檯面上的極紫外光（EUV）、雙重曝影等方法仍在研發外，台積電也沒放棄利用多重電子束的無光罩（maskless）技術。
台積電昨日與荷蘭設備商Mapper共同宣佈簽署協議，依此協議Mapper將會出貨第一台12吋無光罩多重電子束微影設備給台積電，作為製程開發與元件試製之用。此設備讓台積電進一步探索在22奈米及更先進製程中，以多重電子束當作微影技術選項之一的機會。
當前的微影設備係採用光學顯影方式，在晶圓上產生比人類頭髮直徑還要細一百倍以上的精細電路圖像。在這樣的過程中，需要運用到印有晶片電路藍圖的光罩，再將此電路藍圖成像到塗佈有感光液的晶圓之上，與沖洗照片時步驟相似。
台積電研究發展副總經理孫元成表示，為了能讓22奈米及更先進積體電路製造有機會在符合成本效益下完成，台積電將就Mapper的解決方案進行測試，看能否達成此一目標。
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