經濟部長尹啟銘10日表示，晶圓登陸技術層級，將以與國際接軌以及掌握關鍵技術兩大原則進行評估，8月起將針對石化上游、中大尺寸面板等項目展開評估，將可能大幅鬆綁其登陸限制。
尹啟銘強調，晶圓製程放寬備受業者目，即使開放先進製程（奈米級）登陸，「國內廠商到大陸投資12吋晶圓廠的機率很低」。目前開放的原則是與國際接軌，不過，先進技術仍會留在台灣，因為大陸產業聚落發展狀況沒有台灣完整，不管是上、中、下游的產業基本環境，對業者而言，高階製程到大陸投資的報酬率不高。
尹啟銘指出，目前美國英特爾製程是45奈米，英特爾大連廠是90奈米，等到大連廠可量產時，美國已可到32奈米，原則上以差距兩代的製程進行管制。
我國現行開放8吋、0.18微米製程晶圓廠登陸投資，國內半導體業者去年開始即疾呼開放0.13微米製程，並希望階段性開放至90 奈米，目前經濟部以差距兩個世代作為規範標準，若開放90奈米登陸，勢必涉及12吋晶圓廠解禁。官員說，由於瓦聖納協定仍對高於0.18微米製程輸出管制，我方在進行0.13微米或是90 奈米的開放時，也必須進行嚴密審查以及控制用途。
經濟部將在兩周內宣布40%登陸投資限制鬆綁規劃，並在8月起開始針對服務業、農產品、基礎建設等產業別進行規劃，其中最受矚目的工業產品部分，包括晶圓製程放寬、石化上游、中大尺寸面板等均可能大幅鬆綁登陸限制。
尹啟銘表示，美國准許英特爾赴大連設立12吋、90奈米製程晶圓廠，開放尺度固然很大，但大連廠量產時，製程會比英特爾美國製程「落後兩代」來管制。
尹啟銘分析，英特爾是因為當地政府提供相當優惠條件，因此落腳大連，但英特爾生產的產品跟國內產業界的生產不一樣，例如聯電與台積電屬於代工型，除產業配套外，還有市場配套，這也是中芯半導體尚未對台積電與聯電造成嚴重威脅的主因。
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