MEMS的濫觴根源於1960年代，對積體電路的材料及製程研究，科學、工程人員利用半導體製程的蝕刻技術，及特殊材料發展出的平面加工技術，可製作微小機械元件，並可將微小元件整合成微機電系統。
隨半導體製程技術發展，MEMS製作技術也有長足進步。早期MEMS應用於各種感測器(Sensor)上。美國德州儀器公司(TI)歷經十年努力，以MEMS發展出投影機用的DLP晶片，成為近年來MEMS重要應用市場之一。目前MEMS最大應用市場是噴墨印表機的印表頭。此外，壓力感測器、血壓計感測器、溫度感測器等皆是MEMS重要應用。
4年將至92億美元
任天堂Wii掀起旋風，幕後功臣是具三軸向加速器的MEMS感測器，它能偵測使用者動作，並與遊戲結合，讓使用者身歷其境。同樣地蘋果公司的iPhone也放入MEMS感測器，偵測使用者動作，讓螢幕畫面隨之動作。
Wii及iPhone的暢銷，彰顯出消費電子產品成為MEMS市場成長的新動力。預估全球MEMS在消費電子產品及其他新應用刺激下，產值將由2007年的64億美元成長到2012年92億美元。
MEMS可視為包含感測裝置的IC，它可偵測周圍環境的變化，如運動、溫度、光線等的變化。近年來，電玩主機、行動電話、MP3/PMP播放機等，導入「主動感知」及「互動」功能，這使MEMS能快速進入消費電子產品及行動電話市場。除動作感測器外，MEMS麥克風也會被行動電話採用，使市場快速成長。
消費電子、行動電話、汽車及工業控制將會是MEMS最重要應用市場。除消費電子外，汽車將會是推升MEMS重要應用市場。在安全及環保法規日益嚴謹之下，汽車會使用更多MEMS感測器，來達成安全及環保要求。
汽車擴大市場應用
MEMS早已用在汽車的安全氣囊上，胎壓MEMS感測器等會逐漸在汽車市場普及，加上若是法令規定汽車必須有酒精偵測設備時，利用MEMS製成的酒精偵測器將大大地擴大MEMS的市場。同樣地，由於環保及安全意識的抬頭，各式各樣偵測器將走入社會及家庭，像一氧化碳偵測器、二氧化碳偵測器等將大受歡迎，這也會擴大MEMS市場。
消費電子產品及行動電話的市場，會將MEMS市場推入新的境界。由於消費電子及行動電話的市場競爭激烈，產品推陳出新，為因應此快速變遷市場，MEMS供應商，須以新思維及策略，迎接激烈挑戰，與龐大商機。這與傳統MEMS市場(如噴墨印表頭、及各式各樣的工業應用等)，大有不同。
以前MEMS產品公司享有長期壟斷市場，像TI的DLP晶片及樓氏MEMS麥克風。不過進入消費電子及行動電話市場後，情形逐漸改觀，新創意公司會逐一冒出，競爭會更激烈，機會也會更多。
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